物理气相沉积法

推荐新型DSC陶瓷基板首次实现高性能IGBT线路刻蚀

中国粉体网讯 近日，深圳后浪实验室利用自主研发的直接溅射陶瓷基板（Direct Sputtering Ceramic Substrate，DSC）首次完成曝光、显影、蚀刻等工艺实现IGBT线路双面刻蚀，制备的IGBT基板铜层[更多]