中国粉体网讯 近日,第二十五届中国专利奖评选结果正式揭晓,华海清科股份有限公司“化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备”斩获中国专利银奖。化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技[更多]
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