路新春

推荐坚定行走在集成电路化学机械抛光技术的路上——华海清科董事长路新春

中国粉体网讯路新春，华海清科股份有限公司董事长，清华大学机械工程系首席研究员。长期从事纳米摩擦学、纳米制造理论与技术研究，是我国最早开展纳米摩擦学研究的科研人员之一。带领团队建立了我国自主的集成电路化学机械抛光技术体系，研制[更多]