磨粒

推荐主宰抛光液命运的“隐形军团”：磨粒

化学机械抛光液是影响抛光质量和抛光效率的关键因素之一，而抛光液中的磨粒和氧化剂决定了抛光液的各项化学机械抛光性能。化学机械抛光液各组分 来源：王东哲等，化学机械抛光液的研究现状在抛光过程中，抛光液中的化学添加剂和材料表面发生[更多]