高倍测量显微镜主要用于LCD、PDP、PCB等相关的光电产业，为其研发、制造提供所需的检测设备。具有观察OLB压接粒子分布、液晶板表面贴附的异物、液晶板划伤情况、测量导电粒子大小、数量等功能。

产品特点：

高倍测量显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

1. Z轴光栅尺分辨力为0.1μm

2. X、Y轴采用空气轴承、花岗石导向，保证了机械系统的精确稳定，提高了测量精度

3. X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高、速度快，运行平稳

4. 同轴光/底光测量

5. 内置偏光测量光学模块

6. 自主开发QMS3D-M软件，高清晰进口1/2"彩色摄像机

7. 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，可适应复杂工件的测量

8. 可实现Z轴自动对焦

9. 具有偏光和DIC检测功能

10. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度

规格参数：