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材料3D实时动态显微镜
lyncee+材料3D实时动态显微镜+DHM™ R2100
LynceeTec数字全息显微镜DHM
Digital Holographic Microscopy (DHM) generates， in real-time， high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time.
仪器简介
瑞士Lyncee tec公司的材料3D实时动态显微镜DHM R1000 “DHM（Digital Holographic Microscopy）主要应用是在MEMS研发中用于测量工作，以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比，在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm，水平方向为200nm～300nm（取决于物镜）。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm，可以15帧/秒的速度进行测量。因此，25px见方的试样几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时，同等范围的观察则需要几个小时～10小时。此外产品**可将观察速度扩展至1万帧/秒。由于摄影速度快，因此不需减震台，可用来检测流水线上的产品。
照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机，作为数字数据保存下来，由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“Koala Software”。
主要特点:
·非接触式3D成像
·可进行相位测量
·自动相干补偿
·高分辨、实时测量
技术规格
系统
·测量技术： 单波长透射式数字全息显微镜
·成像类型： 强度及定量相差 (DHM模式)
·光 源： 单波长激光
·样品台： 手动或自动XYZ平台， 行程200mm××100mm×15mm
·相 机： 1392×1040像素， 8bits
·有效物镜： 标准显微物镜， 长工作距离物镜， 油镜或水镜
性能
·纵向分辨率： 10nm
·垂直测量范围： 可达340nm (取决于样品)
·横向分辨率： 300nm (1.4NA)
·视场范围： 4.4mm
·工作距离： 0.3~18mm
·数字聚焦范围： 达到50倍场深
·抓图时间： 小于1us
·空间采样： 1024×1024像素
·采样速率： 15fps (1024×1024像素)
·单波长重建速率：15fps (512×512像素)， 4fs(1024×1024像素)
·样品照明： 小于1uW/cm2
·**样品尺寸： 200mm×200mm
电源要求
·输入电压： 85-260VAC， 50/60Hz
·功率： 480W
重量&尺寸
·显微镜部分： 500×500×500mm&34.5kg
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