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产品简介
产品特点：
? 薄膜到厚膜的测量范围、UV～NIR光谱分析。
? 高性能的低价光学薄膜测量仪。
? 藉由**反射率光谱分析膜厚。
? 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能。
? 无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手。
? 非线性*小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品规格：
| 型号 | FE-300V | FE-300UV | FE-300NIR | |
| 对应膜厚 | 标准型 | 薄膜型 | 厚膜型 | 超厚膜型 |
| 样品尺寸 | **8寸晶圆（厚度5mm） | |||
| 膜厚范围 | 100nm~40μm | 10nm~20μm | 3μm~30μm | 15μm~1.5mm |
| 波长范围 | 450nm~780nm | 300nm~800nm | 900nm~1600nm | 1470nm~1600nm |
| 膜厚精度 | ±0.2nm以内 | ±0.2nm以内 | - | - |
| 重复再现性(2σ) | 0.1nm以内 | 0.1nm以内 | - | - |
| 测量时间 | 0.1s～10s以内 | |||
| 测量口径 | 约Φ3mm | |||
| 光源 | 卤素灯 | UV用D2灯 | 卤素灯 | 卤素灯 |
| 通讯界面 | USB | |||
| 尺寸重量 | 280（W）×570（D）×350（H）mm，约24kg | |||
| 软件功能 | ||||
| 标准功能 | 波峰波谷解析、FFT解析、*适化法解析、*小二乘法解析 | |||
| 选配功能 | 材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析 | |||
应用范围：
? 半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)
? 光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
应用范例：
? PET基板上的DLC膜
? Si基板上的SiNx
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