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产品简介
在PA系类设备的基础上，加装晶圆专用的装置，可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。
应力双折射测量仪主要特点：
操作简单，测量速度可以快到3秒。
视野范围内可一次测量，测量范围广。
更直观的全面读取数据，无遗漏数据点。
具有多种分析功能和测量结果的比较。
维护简单，不含旋转光学滤片的机构。
高达2056x2464像素的偏振相机。
SIC
蓝宝石
| 项次 | 项目 | 具体参数 |
| 1 | 输出项目 | 相位差【nm】，轴方向【°】，相位差与应力换算（选配）【MPa】 |
| 2 | 测量波长 | 520nm |
| 3 | 双折射测量范围 | 0-130nm |
| 4 | 测量*小分辨率 | 0.001nm |
| 5 | 测量重复精度 | <1nm（西格玛） |
| 6 | 视野尺寸 | 40x48mm到240x320mm（标准） |
| 7 | 选配镜头视野 | 不适用 |
| 8 | 选配功能 | 实时解析软件，镜片解析软件，数据处理软件，实现外部控制 |
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