ResMap四探针测试仪

ResMap四探针电阻率测试仪

ResMap CDE273四探针太阳能硅片电阻率测试仪

ResMap CDE273四探针电阻率测试仪简介：

四探针太阳能硅片电阻率测试仪

光伏测试专用美国ResMap四点探针

ResMap CDE273四探针电阻率测试仪的特点如简述如下:

* 高速稳定及**自动决定范围量测与传送，THROUGHPUT高

* 数字方式及每点高达4000笔数据搜集，表现良好重复性及再现性

* Windows 操作接口及软件操作简单

* 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上，皆可达成高精确度及重复性)

* 体积小，占无尘室面积少

* 校正简单，且校正周期长

* 可配合客户需求，增强功能与适用性

* 300mm 机种可以装2~4个量测头，并且可以Recipe设定更换

CDE　ResMap–CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的。

ResMap CDE273四探针电阻率测试仪主要特点：

测量范围广，精度高，稳定性好，功能齐全强大，软件好用，维修成本低，服务好，配件齐全...

美国进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪/太阳能光伏扩散薄层电阻测试仪（Four point probe(4PP)）

设备名称: 四点探针电阻仪 (CDE ResMap)

主机厂牌、型号与附件: CDE ResMap

规格:

1. Pin material: Tungsten Carbide.

2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.

3. 样品尺寸: 2吋至6吋晶圆 (表面须为平整的导电薄膜，半导体材料)

设备用途: 导电薄膜的电阻值分布测量，半导体，光伏

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特点：

1）针尖压力一致

2）适用于各种基底材料

3）友好的用户界面

4）快速测量

5）数据可存储

应用：

1）方块电阻

2）薄片电阻

3）掺杂浓度

4）金属层厚度

5）P/N类型

6）I/V测试

ResMap CDE273四探针电阻率测试仪测试性能指标：

探针材料 WC

探头寿命> 500W次

Resmap168，178，273区别：