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基于圆柱面的白光干涉仪
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德国
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产品简介
简 介:

基于圆柱面的白光干涉仪

大型快速的3D白光干涉测量

使用高精度的压电马达

全电动系统

可用于直径从70mm的不同气缸

使用MountainsMap影像地形分析数据

可选:标准化工作的特殊评测

SmartWLI-cylcheck参数

探测器

摄像头传感器: CCD GigE 1388x1038 Pixel, 17 fps

光源: 白光LED

系统组件

深层定位: 电动可调节到200 mm

X-Y定位: 圆柱直径为电动调节

可从70 mm调到155 mm

系统转动: 可手动旋转

Z-测量系统: WLI/压电式底座的测量范围为100um

测量转接器: 用于安装在气缸上的转接器

滚动箱 : 记录所有系统组件,包括工业PC对仪器的控制

评估: MountainsMap影像地形

镜头选项

放大倍数 10x 20x 50x

在平方微米的测量领域 1290x965 645x480 258x190

NA 0,3 0,4 0,55

z方向分辨率 <5 nm <5 <5 nm

XY方向分辨率 1,9 µm 1,0 µm 0,7 µm

选项

Cylanalyse 圆柱表面的分析评价

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