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紧凑型波前传感器
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产品简介

紧凑型波前传感器

SID4波前传感器是一款结构紧凑的设备,它结合并实现了经典干涉法的优势(灵敏度、高分辨率和动态范围测量法)。

SID4的优势源自四波横向剪切干涉技术*(基于优化的哈特曼掩膜干涉光学),它是ONERA为了计量需求研发的一种革新技术。

主要特点

高横面分辨率(160x120)

消色差

接收大光谱

强度截面测量(光束图)

结构紧凑易于使用(电脑控制,即插即用)

多用户,多设备接口

易于安装,使用软件简易

多种采样方式(即时,触发,软件采样等)

软件特点

相位图解释模块

倾斜

分散

Zernike多项式

Legendre多项式

射束分割

同时提供相位图和强度图

计算M²

斯太尔率

远场分析符

光束图模块窗口

符合人体工程学原理

软件直观

多用户界面

自动分析调整

光束图 (可选配)

完整射束分割

强度分布

高斯拟合

参数

孔径

3.6 x 4.8 mm²

空间分辨率

29.6?um

相位和强度采样点

160 x 120 (> 19000点)

波长

350 - 1100 nm

精度(**/相关模式)

10 nm RMS / 3 nm RMS

灵敏度

3 nm RMS

动态范围

> 100?um

曲率半径

20 mm (可选5mm)

曲率重复性

5. 10 m

数值孔径

0.1NA f/5 (可选0.3 NA f/1.6)

分割率 (全分辨率)

> 10 fps

采样频率

60 fps

尺寸(l x H x L)

49 x 35 x 110 mm

重量

250 g

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