Tergeo-EM 等离子清洗机

● 集成直接浸泡和远程/Downstream清洗模式

● 实时检测等离子体强度的等离子体传感器

● 可毫秒级别短脉冲操作。

● All-in-one实验室等离子蚀刻、处理和清洗系统。

● 用于批量加工的大型样品室，带有矩形石英样品托盘

● 双TEM 适配器，可配置为支持两个不同品牌的样品杆

支持不同TEM/SEM系统

敏感的样品如何用传统等离子清洗？

通常需要很高的射频功率来点燃等离子体，但是一旦等离子被点燃，等离子就可以较低的射频功率维持。但是传统的等离子体清洗机很难自动、可靠地产生极弱的等离子体来处理诸如TEM碳膜和对热等敏感样的品。

为什么Tergeo EM可以轻松处理易破和热敏性样品？

Tergeo EM等离子清洗机集成SmartClean ^TM独特的等离子传感器，可以实时测量等离子强度，系统控制器不断地了解等离子体的状态。如果等离子体未能在低射频功率设置下点燃，系统将自动增加射频功率，直到等离子体点燃。一旦等离子体点燃，系统将立即将射频功率降低到配方设置。这一功能使Tergeo EM的射频功率比同产品功率低得多。

同系统中包含两种直接浸泡和远程Downstream清洗模式。远程Downstream清洗模式提供了一种温和的处理方法，可以显著减少传统直接模式等离子体系统中的样品加热、离子溅射问题。

系统还可选择脉冲模式操作，该模式能够可靠地产生平均功率小于0.25瓦的极弱等离子体。