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Tergeo等离子清洗机
特 征: ● 模式：直接浸泡式等离子清洗可以高速刻蚀和表面改性； 远程等离子体可以轻微的清除表面污染，如SEM/TEM样 品清洗 ● 操作：自动配方执行；自动作业顺序执行；亦手动控制 ● 等离子传感器：双等离子强度传感器（**申请中）实时监测 等离子源和远程等离子源且等离子强度实时显示LCD触摸屏上 ● 先进工艺控制：压力传感器、温度传感器、MFC气体流量计、双等离子强度传感器、自动阻抗匹配 ● 腔体材料：铝法兰，石英腔体 ● 石英腔体尺寸：内径：110mm；深280mm ● 样品架：2mm厚高纯度石英板 ● 射频天线：外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极 在等离子清洗机中发现的金属溅射问题 ● 射频功率：13.56mhz射频电源，自动阻抗匹配 射频功率有两种选择：0-75watt和0-150watt ● 工艺气路：高达三个MFC气路 ● 用户界面：7寸电阻式触摸屏 ● 软件：总共20个可定制的配方。每个工艺多达三个步骤 |
| Direct & downstream 清洗模式 | ||
引线键合倒装芯片底部填充，器件的封装和解封
光刻胶灰化、除渣、硅片清洗
PDMS/微流控/载玻片/芯片实验
去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物
改善金属与金属或复合材料的结合
改善塑料、聚合物和复合材料的粘接
PDMS/玻璃键合的应用笔记
Recipe ：
PDMS bonding: RF power 15Watt
RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air
Flow rate: 5sccm
Time: 30~60 seconds
Figure 1 经过等离子体处理后，PDMS立即与玻璃结合，界面截留的气体被自动挤出，无需在烤箱里固化PDMS/玻璃胶几个小时。
Figure 2，粘合一分钟后，用户试图测试PDMS/玻璃粘合度，由于粘合非常牢固，即使由于强大的拉力部分PDMS被撕掉之后，PDMS/玻璃粘合界面仍然完好无损。
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