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固润光电PS4L手动探针台
固润光电PS4L手动探针台

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广州市固润光电科技有限公司

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PS4L 手动探针台

SemiProbe的手动探针台是模块化结构设计*明显和*灵活的300mm手动探针台。它采用了SemiProbe****技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计,提供了****的灵活性和大大地节省了设备资金费用。PS4L系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求.

晶圆探针系统的PS4L系列探针台是基于SemiProbe****技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构而设计的。与传统的探针台相比,SemiProbePS4L系列探针台中所有的基础模块-基座,平台,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等等都是可以更换的。这样的特点使得PS4L系列探针台以非常有竞争力的价格满足了多种应用需求和预算要求,为客户提供了非常经济适用以及**的解决方案。独特的模块化设计使得客户可获得测试性能精准地满足了他们的要求。更重要的是,PS4L可随着测试环境和测试条件的改变从而轻易地进行现场升级以满足新的要求。比起传统的探针台,这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L也无需重新更换新的平台,便可用*短的时效和*经济的费用完成***的测试

SemiProbe M12探针台可有完整的整套附件可选,包括探针卡,操纵器,操纵臂和基座,探针,激光,光学部件,CCTV系统,隔振台,暗箱等等。

产品特征和优势:

1.可现场升级300mm手动探针台可升级为450mm手动探针台

2.可现场升级,300mm手动探针台可升级为450mm半自动探针台

3.所有关键部件都是可以更换的,这样使得系统更便于配置满足各种应用需求和预算要求-无论是现在还是未来

4.软件和硬件模块提供了**性的现场升级功能

主要应用/服务市场:

设备特性,MEMS,光电,高频/微波,光伏,失效分析,光伏,材料科学等

规格参数

尺寸1200mm X 550 mm X 900 mm (47.3” X 21.6” X 35.4”) (W,H, L) – with optics
重量250Kg (550 lbs.) - Vibration Isolation (table and frame)
卡盘平台 X-Y 移动

Severalstages to select from to meet performance and budget requirements

Travel:305 mm x 305 mm

Planarity:+/- 10 μm over travel range

Resolution:5 μm

IndependentX and Y linear movement

卡盘平台Z 移动

ZTravel: 10 mm

ZContact/Separation Stroke: 4 mm adjustable

Theta移动Travel:360 degrees
卡盘

Vacuumor mechanical clamping, round or square, ambient, thermal and custom

Handledie, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to300 mm

Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materialsavailable

Planarity:15 μm

压盘

Aluminumwith stainless steel top

360degree manipulator placement

Manipulatorfixation – magnetic, vacuum

压盘移动

PlatenLift: Choice of fixed or adjustable

Adjustable:Coarse - 25 mm, Fine – 6 mm

显微镜装置/移动Mounting – Boom, Post or Bridge

Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm

光学组件StereoZoom, Zoom Tube, A-Zoom or Compound Microscope
其它工具

Power:AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A

Vacuum:23 Hg or -0.8 bar

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固润光电PS4L手动探针台信息由广州市固润光电科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于固润光电PS4L手动探针台报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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