MDPinline ingot系统是世界上*快的多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里就完成其四个面的检测，且所有的图谱(寿命，光电导率，电阻率)都可以同时进行测量。

该系统包括一个数据库和相关的统计数据评估，可自动确定精确的切割位置，以提高成品率。主要用于材料质量监控，炉选择和工艺改进。

性能▼

l 无接触、无破坏的半导体特性

l 少数载流子寿命的检测能力

l 先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化

l 自动切割标准定义

l 获取体材料性质的稳态测量

l 完全自动化的内联集成

l 对太阳能级硅錠进行扫描，1mm分辨率

l 测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描，可自动测量所有4个面

Automated determination of cut off criteria

优势▼

l 保持着先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。

l 在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试，同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的

l 线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库，该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。

l 对炉料进行质量控制和炉况监测，并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。

Recognition of cracks， chunks etc.

Automated cut criteria definition， lifetime map

技术参数▼