XRD-OEM的特点▼

l 可以集成任何自动化或处理系统且适用于极端环境(研磨、锯切)

l 紧凑、标准的工业接口

l 独立定位测量，可测量平面或圆周

l 光学等级检测

l 解决了行业难题:

① 如果加工设备和定向测量是分开的，那么就会因为样品转移而造成定向误差

② 市场对于精确对齐的晶圆的需求量越来越大

l 将测量过程整合到工业生产中（研磨或锯切）

技术参数▼

l 可测量材料：硅，碳化硅，砷化镓及更多

l 样品尺寸：钢锭直径450毫米

l 冷却：空气，低噪音

l 可能的用途：在锯/磨/平/缺口检测前对大型晶锭进行预对准

应用实例▼

硅锭取向:

磨削前对平面和缺口位置的检测

样品直径可达8 "，长度可达40厘米

XRD-OEM适配普遍的打磨设备▼

无需移动样本即可进行定向，可与打磨产线相结合直接进行在线检测

可以直接集成到基础机圆磨床72/856上