弗莱贝格的MDPpro（晶圆片/晶锭寿命检测仪）系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等，其非接触式检测和无损成像（μPCD /MDP(QSS)）的设计完全符合SEMI标准PV9-1110。这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化等领域被广泛应用。可以说，MDPpro是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商的标准仪器。

特性&优势▼

u 无接触和无破坏的半导体检测；

u 特殊“underneath the surface”寿命测量技术；

u 对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度；

u 自动设置硅錠切割标准；

u 空间分辨p/n电导型变换检测；

u 多项数据同时自动检测扫描，5幅测量图形同时绘制；

u 坚固耐用的设计和易于设置的性能。安装，仅需要电源。

应用实例▼

1.日常寿命测量，质量控制和检验

高产量：>240块/天或>720片/天

测量速度：对于156x156x400mm标准晶锭，<4分钟

良品率提升：1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭

质量控制：用于过程和材料的质量监控，如单晶硅或多晶硅

沾污检测：起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)

可靠性：模块化和坚固耐用的工业仪器，更高可靠性，运行时间> 99%

可重复性:> 99.5%

电阻率：可做面扫描，不需经常校准

2. 精密材料研发

a.铁浓度测定

b.陷阱浓度测定

c.硼氧测定

d.依赖于注入的测量等