束蕴仪器(上海)有限公司
首页 > 产品中心 > 半导体行业专用仪器 > MDPmap晶圆片寿命检测仪
产品详情
MDPmap晶圆片寿命检测仪
MDPmap晶圆片寿命检测仪的图片
参考报价:
面议
品牌:
关注度:
424
样本:
暂无
型号:
产地:
德国
信息完整度:
典型用户:
暂无
索取资料及报价
认证信息
高级会员 第 2
名 称:束蕴仪器(上海)有限公司
认 证:工商信息已核实
访问量:94820
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介

Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device

应用范围用于精密材料研发的单晶和多晶片的寿命测量

特性

●灵敏度:外延片不可见的缺陷和检测的 灵敏度的可视化

●测量速度:6英寸硅晶圆片,1mm分辨率 ,小于5分钟

●使用寿命: 20纳秒到几毫秒

●污染测定:源自炉和设备的金属(Fe)污染

●测量能力:从初始切割的晶圆片到完全加工的样品

●灵活性:固定测量头允许外部激光与触发器耦合

●可靠性: 模块化和紧凑的台式仪器,更高的可靠性和正常运行时间> 99%

●重现性: > 99.5%

●电阻率:不需要频繁校准

用于研发或生产监控的灵活检测工具

MDPmap是一个紧凑的台式无触点电子特性的离线生产控制或研发的工具。可测量参数如载流子寿命、光电导性、电阻率、缺陷信息在稳态或注入范围宽短脉冲励磁(μ-PCD)。自动化的样品识别和参数设置可以方便地适应各种不同的样品,包括在不同的制备阶段,从生长的晶圆片到高达95%的金属化晶圆片的外延片和晶圆片。。

MDPmap的主要优点是其高度的灵活性,它允许集成*多4个激光器,用于从超低注入到高注入的依赖于注入水平的寿命测量,或者使用不同的激光波长提取深度信息。包括偏置光设施以及μ-PCD或稳态注入条件的选项。可以使用不同的图进行客户定义的计算,也可以导出原始数据进行进一步的评估。对于标准计量任务,可用一个预定义的标准,使常规测量只需按一个按钮。

  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类
我要咨询关闭
  • 类型:*     
  • 姓名:* 
  • 电话:* 
  • 单位:* 
  • Email: 
  •   留言内容:*
  • 让更多商家关注 发送留言