开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。

材料表面的功函数通常由*上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种*灵敏的表面分析技术。

我们的开尔文探针系统包括：

□单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；

□扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；

□超高真空(UHV)开尔文探针；

□湿度控制的腐蚀开尔文探针；

扫描开尔文探针系统

ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：

□2毫米，50微米探针；

□功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；

□针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；

□表面势和样品形貌3维地图；

□探针扫描或样品扫描选配；

□彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；

□参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；

□备用的针尖放大器；