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产品简介
PMMA(polymethyl methacrylate)是一种非常适合许多成像和非成像微电子应用程序的聚合物材料。通常用于电子束工艺曝光,如T-gate制造。还用于临时晶片接合工艺如晶片减薄,用作保护层和临时粘合剂。
PMMA光刻胶是PMMA聚合物被溶解在特定的分子量溶剂中,如苯甲醚(安全的溶剂),然后过滤。传统曝光,直接写曝光或X-射线曝光使聚合物的断链,从而在光刻胶的曝光和未曝光区域之间产生溶解度差异,实现非常高分辨率的图像。
PMMA的分类:
1)PMMA 495 A系列
2)PMMA 495 C系列
3)PMMA 950 A系列
4)PMMA 950 C系列
PMMA特性:
1)溶剂:苯甲醚(A)和氯苯(C)
2)非常适合于电子束光刻和X射线曝光
3)高分辨率:<0.1um,PMMA 950适用于高分辨率的应用,PMMA 495则相对较低
4)广范围分子量和粘度
应用:电子束光刻、多层T-Gate剥离、晶圆减薄等。
相关溶液:
1)显影液:MIBK:IPA
2)去胶剂:Remover PG
3)稀释剂:A Thinner
一般储存温度:
10-27℃
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