原理：

等离子体等离子体分析飞行时间质谱仪是一个全新的仪器，它结合了GD等离子体的溅射速度和飞行时间质谱的灵敏度，实现了高分辨率和高灵敏度条件下固体材料的快速化学深度剖析。

重点应用领域：

掺杂分析（半导体、光电子、太阳能光伏、传感器、固态光源）

表面和整体污染鉴定（PVD镀层、摩擦层、）

腐蚀科学和技术（示踪物、标记监测、同位素分析）

界面监测

参数：

采集速率：每30μs一张全质谱

质量分辨率：选择高分辨率模式时，在m/z208可达5000

动态范围：10⁷

质量准确度40ppm

灵敏度:10³cps/ppm

深度分辨率：nm

正负离子模式

4个离子的灵活消隐功能

简单易用的水平样品装载

产品特点：

样品分析快速无预处理：无需超高压腔

适用于各种材料及镀层分析

全质量覆盖：可提供从H到U元素的完整质谱和分子信息，包括同位素监测

独有3D数据 ，脉冲射频模式(**)

高深度分辨率：测试薄层可至1nm到厚层：厚层可达100μm

无需校准的半定量分析：溅射和电离过程分离，使得基体效应*小化

原理图：

应用实例：

富含O18氧化钽的同位素分析

Si PV的杂质识别

Si中B的定量掺杂

InGaN中Mg的定量分析