山东力冠微电子装备有限公司
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产品详情
LPCVD 卧式
LPCVD 卧式的图片
参考报价:
面议
品牌:
山东力冠
关注度:
352
样本:
暂无
型号:
LPCVD 卧式
产地:
山东
信息完整度:
典型用户:
暂无
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高级会员 第 1
名 称:山东力冠微电子装备有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

概要:

♦ LPCVD设备是半导体集成电路制造的重要设备之一, 主要用于多晶硅、氮化硅、氧化硅薄膜的生长,它是将原材料气体(或者液态源气化)用热能激活发生化学反应而在基片表面生成固体薄膜,LPCVD过程是在低压下进行的,由于气压低,气体分子平均自由程大,使生长的薄膜均匀性好,此外基片可以竖放使得设备装片量大,特别适用于工业化生产


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