声达半导体设备(江苏)有限公司
1 年高级会员
已认证
拨打电话
获取底价
提交后,商家将派代表为您专人服务
声达半导体设备(江苏)有限公司
已认证
适用工件: (Applicable parts) | 6寸/8寸蓝宝石或碳化硅 6"/8“Sapphire or SiC Wafer |
批量产能: (Capacity) | 60s/pcs |
工艺流程: (Procedure Flow) | 上料→ 晶圆定位→旋转刷洗及二流体喷洗(硅面)→翻转180度→旋转刷洗、兆声波喷洗(碳面)→旋转甩干→下料 Load→Location→Rotation,brushing,cleaning,two-fluid spraying(Si side)→Turn over 180 degree→Rotation, brushing,cleaning,megasonic spraying(C side)→Rotation, Spin-Drying→Unload |
主要材料: (Major Material) | 金属骨架+PP瓷白壳板 Metal Frame+PP white board |
运送方式: (Transportation) | 通过洁净机械手进行晶圆传输 Wafer transported by clean robotic hand |
工艺效果: (Process effect) | a.particle size0.3~0.5um,remove %>90%or <200e.a; b.particle size0.5~1um,remove%>95%or <10e.a。 PS:inspection machine is for Candela or SICA |
相关产品
更多
企业名称
声达半导体设备(江苏)有限公司企业类型
信用代码
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围