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晶圆兆声单面刷洗甩干机

晶圆兆声单面刷洗甩干机
  • 品牌:江苏声达
  • 产地:江苏
  • 关注度:145
  • 型号:晶圆兆声单面刷洗甩干机
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    适用工件:

    (Applicable parts)

    6寸/8寸蓝宝石或碳化硅

    6"/8“Sapphire or SiC Wafer

    批量产能:
    (Capacity)

    60s/pcs

    工艺流程:

    (Procedure Flow)

    上料→ 晶圆定位→旋转刷洗及二流体喷洗(硅面)→翻转180度→旋转刷洗、兆声波喷洗(碳面)→旋转甩干→下料
    Load→Location→Rotation,brushing,cleaning,two-fluid spraying(Si side)→Turn over 180 degree→Rotation,
    brushing,cleaning,megasonic spraying(C side)→Rotation,
    Spin-Drying→Unload
    主要材料:
    (Major Material)
    金属骨架+PP瓷白壳板
    Metal Frame+PP white board
    运送方式:
    (Transportation)
    通过洁净机械手进行晶圆传输
    Wafer transported by clean robotic hand

    工艺效果:

    (Process effect)

    a.particle size0.3~0.5um,remove %>90%or <200e.a;

    b.particle size0.5~1um,remove%>95%or <10e.a。

    PS:inspection machine is for Candela or SICA


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    • 晶圆兆声单面刷洗甩干机的操作规程有吗?
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    工商信息

    企业名称

    声达半导体设备(江苏)有限公司

    企业类型

    信用代码

    91320582MAC8E0AL87

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

    有效期限

    经营范围

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    声达半导体设备(江苏)有限公司
    客服电话
    声达半导体设备(江苏)有限公司公司位于江苏省张家港市,是超声电气(集团)的全资子公司。公司拥有资深的研发团队,同时有数名来自海外知名半导体企业专家顾问团队;是一家集设备开发、制造、销售于一体的多元化企业。我们为广大客户提供原材料、零部件、半导体装备和工艺的整体解决方案。公司目前还同江苏科技大学共同设立了“半导体湿法工艺技术研究所”,在半导体纳米级清洗技术、多功能一体化设备、高通量清洗技术等半导体湿法清洗前沿技术领域深度合作。同时对标美、日等知名半导体设备公司,不断完善
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