首页 > 辅助设备 > 实验设备 >
双倾角约瑟夫森结制备系统
双倾角约瑟夫森结制备系统

参考价格

面议

型号

QBT-J

品牌

韫茂科技

产地

福建

样本

暂无
厦门韫茂科技有限公司

高级会员

|

第4年

|

生产商

工商已核实

留言询价
电话询价
核心参数
  • 功率(kw):

    -
  • 重量(kg):

    -
  • 规格外形(长*宽*高):

    -
产品介绍
创新点
相关方案
相关资料
用户评论
公司动态
问商家
留言询价
电话询价
×

*留言类型

*留言内容

*联系人

*单位名称

*电子邮箱

*手机号

提交
点击提交代表您同意 《用户服务协议》《隐私协议》

虚拟号将在 180 秒后失效

使用微信扫码拨号

为了保证隐私安全,平台已启用虚拟电话,请放心拨打(暂不支持短信)
×
是否已沟通完成
您还可以选择留下联系电话,等待商家与您联系

需求描述

单位名称

联系人

联系电话

Email

已与商家取得联系
同意发送给商家
产品介绍
创新点
相关方案
相关资料
用户评论
公司动态
问商家

全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统  QBT-J 

四腔体.jpg

约瑟夫森结超高压系统


   全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统专专业制备约瑟夫森结制备,可精确生长所需的金属层和氧化绝缘层,确保高性能制备及高成品率;此镀膜仪有进样室、氩离子清洗室、电子束蒸 发室以及氧化室,共计四个高真空腔室,腔室间使用传样杆进行高真空传样,传递模组须采用抓取式设计;设备所有工艺均支持4英寸及以内的晶圆或不规则样品。设备整个工艺过程,可以完全按照用户设置的参数自动化运行,工艺流程包括并不限于:抽真空,监测气压,离子清洗,样品位置调节、传样,加热,电子束蒸发特 定厚度设置,自动调整气压等。


微信图片_20220224094931.jpg

技术参数


QBT-J 技术参数 Technical Specifications (双倾角约瑟夫森结制备)
超高真空腔体 UHV Chamber4个UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 极限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr
基板加热 Wafer HeatingRT-900℃
离子束清洗 Ion Milling考夫曼离子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蚀均一性<3%
电子束蒸发 Ebeam EvaporationUHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply
氧化 OxidationFlow and Static Mode Oxidation
基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation可实现180度倾斜及360度旋转,0.1度的精准控制
基板传输 Wafer Transfer高度可靠和可重复的基板传输能力
人机界面 HMI全自动化人机操作界面
安全Safety工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO








创新点

约瑟夫森结超高压系统:超高真空设计,真空互联传输平台,专为量子计算、超导应用而生。

相关方案
暂无相关方案。
相关资料
暂无数据。
用户评论

产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

10分
评论内容
暂无评论!
公司动态
暂无数据!
技术文章
暂无数据!
问商家
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统的工作原理介绍?
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统的使用方法?
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统多少钱一台?
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统使用的注意事项
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统的说明书有吗?
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统的操作规程有吗?
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统的报价含票含运费吗?
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统有现货吗?
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统包安装吗?
双倾角约瑟夫森结制备系统信息由厦门韫茂科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于双倾角约瑟夫森结制备系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
  • 推荐分类
  • 同类产品
  • 该厂商产品
  • 相关厂商
  • 推荐品牌
同品牌产品
高真空等离子体
关注度 2253
免费
咨询
手机站
二维码