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小尺寸，高产能
先进的IPA干燥方式
工序可灵活编辑
无盒式（No-Cassette）50片晶圆批次处理
节能减排，降低成本
配备先进的IPA干燥槽
配备稳定的晶圆传输系统
模块化设计，可客制化组合选配
可选配一体式清洗模块（多种化学药水与纯水在同一槽中进行工艺）
可选配兆声波清洗
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