中国粉体网讯光刻机:超精密尖端装备的珠穆朗玛峰芯片制造工艺主要是在半导体基底上通过氧化、光刻、扩散、离子注入等一系列工艺流程,制作出晶体管、电容、电阻等元器件,并将它们互相连起来的加工工艺,而在整个集成电路制造过程中,光刻是[更多]
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