硅抛光液

推荐万华化学申请新专利!长时间高速率的钨化学机械抛光液

中国粉体网讯 据国家知识产权局公告,万华化学集团股份有限公司(以上简称:万华化学)申请一项名为“一种长时间高速率的钨化学机械抛光液及其应用“,公开号CN117947422A。专利摘要显示,本发明公开了一种长时间高速率的钨化学[更多]

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