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推荐新“球形纳米氧化铝抛光液”：我会更好地帮助碳化硅晶圆抛光！

中国粉体网讯 近日，国家知识产权局信息显示，湖南皓志科技股份有限公司取得一项名为“一种碳化硅晶圆抛光用的球形纳米氧化铝抛光液”的专利，抛光液移除速率高、悬浮分散性能好。化学机械抛光（Chemical Mechanical P[更多]