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RTP-100-RP快速退火炉(中温/低价位)
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产品简介

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。

RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用,适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品。

仪器特点:

- **工艺温度:650摄氏度;

- 加热区域:200mm x 170mm;

- 高性价比;

参考用户:

中电13所等。

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