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产品简介
美国MicroXact为专业的高品质探针台生产商，迈锐(MicroXact)公司探针台有手动探针台、半自动探针台、低温探针台、三维磁体探针台等。手动探针台的主要型号：SPS-2000， SPS-2200。
技术规格：
技术规格 | SPS-2000 | SPS-2200 |
样品尺寸 | 不大于 150mm | 不大于200mm |
样品台XY移动范围 | 155mmx155mm | 200mmx200mm |
样品台XY移动分辨率 | 5um | 5um |
样品台XY移动轴承 | 精确横轧辊 | 精确横轧辊 |
台面移动 | 12.7mm | 12.7mm |
台面调整 | 粗调及细调，1.5mm重现性 | |
台面平整度 | <12.7um (150mm台面) | <12.7um (200mm台面) |
台面刚性 | <50um (4.5公斤承重) | <50um (4.5公斤承重) |
真空卡盘 | 多区域真空吸附 | |
卡盘平整度 | +/-13um | +/-13um |
卡盘击穿电压 | >500V | >500V |
卡盘绝缘性 | >1GW | >1GW |
卡盘调节 | 360度粗调，+/-6度细调 | |
显微镜 | 高品质立体显微镜，放大倍率：3.5X~180X，工作距离：200mm； 多种高倍显微镜； | 高品质立体显微镜，放大倍率：3.5X~180X，工作距离：200mm； 多种高倍显微镜； |
电学接口 | BNC， Triax or Banana plug | BNC， Triax or Banana plug |
尺寸 | 78cm x 80cm x58cm (W x D x H) | 128cm x 122cm x 92cm (W x D x H) |
重量 | 85kg ~ 95kg | 85kg ~ 100kg |
样品快速装载选件 | 不包括 | 包括 |
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