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生长操作器和制备台UHV 兼容。尺寸包括1’’到8’’。集成主挡板可选。操作器可以xyz三个方向运动。样品托集成在操作器上。可适用于氨气、氧气等腐蚀性环境。
●磁耦合旋转
●旋转精度高
●氧环境下兼容可选
●氨环境下兼容可选
●衬底加热温度可达1，400 oC
X-Y方向移动
精度0.001
重复性0.001
反冲 0
移动行程+/-0.5’’
Z方向移动
精度1mm 或1/32比例
重复性1mm 或1/32比例
反冲0
行程4.0’’
水平旋转
精度1.25o
反冲<1 o
持续360 o旋转
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