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SVT公司的线性束流监控仪采用B-A离子规，用于在超高真空下测量束流。灯丝可以放在源的前面，用以获取准确的数据来校准及监控工艺生长过程。
仪器长度可以客户定制，保证离子规有足够的前后移动容域度，避免生长过程中各部件相互影响。LBFM系列是高精度MBE应用的理想选择。
●B-A离子规
●可放置于UHV环境中
●烘烤温度200 oC
●2.75’’或4.5’’ CF 接口法兰
●离子规隔离阀可选
束流电压 | 10KV |
灯丝电流 | 3A |
发射电流 | 5A |
光学路径范围 | 41/2’’CF |
光斑大小 | 1.0mm (17’’/1075px距离) |
**烘烤温度 | 230 oC |
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