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美国SVT线性蒸发源/线性束流源
美国SVT线性蒸发源/线性束流源

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美国

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SVT线性蒸发源适用于太阳能电池和OLED生产的in-line和roll to roll制程工艺。

线源和体蒸发源相比,蒸发温度更高(>1,500oC)。

线性分布的分流口可使整个衬底长度均匀被覆盖。

**的分流口设计避免了材料飞溅和缺陷生长。

此源还可以通过调节光阑来调出**束流。

特点

分流口式生长提高大面积移动衬底的薄膜均一性

独立的加热区域,便于精确控制

差分喷口可更换,便于调整束流形状

源容量大,适于长期生长

加热温度高,因此沉积速率高

型 号

沉积宽度

容量

法兰尺寸

SVTA-LES-300

300mm

500cc

6’’(DN100)CF法兰,其他尺寸可选

SVTA-LES-600

600mm

1,000cc, 2,000cc, 或5,000cc

10’’(DN200)CF法兰,其他尺寸可选

SVTA-LES-1200

1,200mm

2,000cc, 或5,000cc

10’’(DN200)CF法兰,其他尺寸可选

**体蒸发温度

1,500oC

分流口**温度

1,600oC

源温度稳定性

+/- 0.1 oC

束流稳定性

<1%

**操作环境压强

5X10-5Torr

沉积均一性

+/-4%(源与衬底距离300mm)

热偶类型

C型

(K型可选)

冷却时间

100oC<120分钟

电接插件

灯丝:Amphenol环形灯丝

T/C:Omega亚微型

烘烤温度

200oC

冷却水接头

2 X 1/4’’ VCR (一进一出)

**水压

80psi

水流速率

500ml/min

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易用性

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