AccuTemp(In-Situ 4000)工艺监控仪可以闭环监控与控制多层薄膜生长。

用于MBE、MOCVD以及CIGS等系统中。

AccuTemp提供实时、准确的工艺信息，包括衬底温度、薄膜厚度、生长速率。

该仪器放置在一个观察窗上。

采用双色红外高温测量仪测量温度，该测量仪对观察窗口的附着物不敏感，还可以校准误差。

另一部件辐射仪，用来补偿发射率的变化，纠正高温测量仪的温度测量值。

Bandgap模块可选，它可以监控很低的衬底温度，还可以进行高温测量仪的简单校准。两个独立的光学反射信号用于分析并实时提供厚度、生长速率及折射系数。

典型应用

AccuTemp典型应用于 GaN，GaAs，ZnO，CIGS，Si， ZnTe，SiC，MCT以及STO。

AccuTemp 既可用于研究型设备也可用于生产型设备。

Bandgap模块可以使IS4K测量低于高温计范围的材料温度，例如在生长GaAs、GaSb及Si材料时可以使用。

特点

●一个窗口就可以同时、实时测量温度和厚度

●采用双波长用于穿过窗口涂层，进行透明度补偿

●采用发射率补偿，提供真实温度

●闭环控制

●Bandgap模块用于低温测量和校准