超精密加工

推荐破解大尺寸氮化铝加工瓶颈:化学机械抛光在晶圆表面超精密加工的创新实践

中国粉体网讯 近年来,以氮化铝、氧化镓、金刚石等为代表的第四代超宽禁带半导体材料逐渐兴起,它们具有超宽禁带、高电压击穿场、高热导率、低热膨胀系数以及耐高温、抗辐射等特性,在紫外探测、芯片制造、高频大功率电子器件等领域内显示出[更多]

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