德国Phsytech深能级瞬态谱 DLTS

我们在1990年推出了首台数字DLTS，随着电脑技术的发展，使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上，用各种数学模型分析测量到的瞬态过程，如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS（等温瞬态光谱）信号重叠法、温度扫描信号重叠法（重折叠）。与其他系统相比，HERA-DLTS具有无法比拟的能量分辨率。

特点

l自动接触检查

l常规测试和加强软件

l自动电容补偿

l三终端FET电流瞬态测量

l大电容和浓度范围

l灵活性高、模块化硬件

l支持各种冷却仓和温度控制器

l傅里叶转换（F-DLTS），比例窗口和用户自定义校正功能

lDLTFS（深层瞬态傅里叶光谱仪）评价

l直接测量发射瞬态

l使用28个不同的相关功能（软件）通过一次温度扫描，给出28个温度扫描信号

操作模式

lC-DLTS(电容模式)

lCC-DLTS(定电容模式)

lI-DLTS（电流模式）

lDD-DLTS（双关联模式）

lZerbst-DLTS

lO-DLTS（光激发模式）

lFET-Analysis

lMOS-Analysis

lITS（等温瞬态光谱仪）

l缺陷分析

l俘获截面测量

lI/V， I/V(T)查理森Plot分析

lC/V， C/V(T)

lTSC/TSCAP

lPITS（光子诱导瞬态谱）

lDLOS(特殊系统)