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PermiNex™光刻胶
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美国
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产品简介

光刻胶--PermiNexTM-晶圆键合粘合剂

MicroChem PermiNexTM 1000系列和2000系列是一种环氧树脂的感光成像键合剂,用于制定空腔结构的粘合剂层,例如需要严格对准和低温处理及高粘接质量的BAW, SAW, 微流体装置。

材质属性

1)非密封应用程序下的**晶圆键合粘合剂

2)负胶,感光成像粘合剂

3)低金属腐蚀

4)碱性及可显影的溶剂

5)深宽比3:1

6)高分辨率模式

7)低温处理(<200℃)

8)高品质、粘合度高

9)对硅片和玻璃有极好的粘附性

10)工艺兼容性好(切割,焊接)和可靠性高(HAST, TCT)

11)粘合后高密封完整性

12)图像边缘清晰度高

13)拐角处无裂纹或瑕疵

14)无空隙,Conformal界面

一般储存温度:

4-21°C

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