中国粉体网讯近日,上海微系统所魏星研究员团队在300 mm SOI晶圆制造技术方面取得突破性进展,制备出了国内第一片300 mm 射频(RF)SOI晶圆。团队基于集成电路材料全国重点实验室300 mm SOI研发平台,依次解[更多]
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