认证信息
高级会员 第 2 年
名 称：深圳市蓝星宇电子科技有限公司认 证：工商信息已核实
访问量：276082
手机网站
扫一扫，手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介
产品详情
N-TEC全自动晶圆清洗机BW 232FA
卖点
。SECS / GEM 功能
。全自动超音波洗净
。Barcode 读取
机台优势
。可置放两组 Cassette
。加热功能
。四面溢流与过滤循环功能
作业方式
**槽: 药剂超音波槽。
第二槽: 药剂超音波槽。
第三槽: 纯水 QDR 槽。
第四槽: 纯水 QDR 槽。
第五槽: 纯水 QDR 槽。
第六槽: 真空干燥槽。
设备规格
设备尺寸 | 4330 mm × 2120 mm × 2980 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
设备重量 | 3500 kg |
电源ＡＣ | 415V (50/60 Hz) 3 phase 5 wire Volt.(V) 240V (50/60 Hz) (RSTNG) Volt.(V) |
空气源 | 压缩干燥空气 6~8 Kgf/cm2 |
N2 | General Nitrogen 2 m3/min |
设备应用范围
晶圆尺寸 | 6″ 晶圆 |
晶粒尺寸 | – |
雷切深度 | – |
胶环尺寸 | – |
膜料尺寸 | – |
机台特性
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类
- PICOSUN P-200S Pro ALD生产型原子层沉积机
- 德国Moeller光学动/静态接触角仪/界面测量仪SL150
- 芬兰PICOSUN标准型原子层沉积机R-200
- 日本JEOL粉末装置TP-99010FDR
- 芬兰PICOSUN标准型原子层沉积机R-200
- 日本JEOL能谱仪，JED-2300，JED-2300F
- N-TEC全自动片机晶圆贴BW 243FA
- 德国Sentech集成多腔等离子刻蚀和沉积机
- 德国laVision BioTec光片照明显微镜Ultramicroscop
- 日本JEOL能谱仪JED-2300T
- N-TEC全自动LED晶圆贴标解胶机BW 227-7FA
- 德国Sentech台式薄膜探针反射仪FTPadv
- 日本JEOL电子自旋共振谱仪JES-X3
- N-TEC全自动真空压合机BW228-4FA
- 德国Sentech自动扫描薄膜测量仪器SenSol
- 德Iplas微波等离子化学气相沉积MPCVD