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N-TEC全自动晶圆清洗机BW 232FA
卖点
。SECS / GEM 功能
。全自动超音波洗净
。Barcode 读取
机台优势
。可置放两组 Cassette
。加热功能
。四面溢流与过滤循环功能
作业方式
**槽: 药剂超音波槽。
第二槽: 药剂超音波槽。
第三槽: 纯水 QDR 槽。
第四槽: 纯水 QDR 槽。
第五槽: 纯水 QDR 槽。
第六槽: 真空干燥槽。
设备规格
设备尺寸 | 4330 mm × 2120 mm × 2980 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
设备重量 | 3500 kg |
电源ＡＣ | 415V (50/60 Hz) 3 phase 5 wire Volt.(V) 240V (50/60 Hz) (RSTNG) Volt.(V) |
空气源 | 压缩干燥空气 6~8 Kgf/cm2 |
N2 | General Nitrogen 2 m3/min |
设备应用范围
晶圆尺寸 | 6″ 晶圆 |
晶粒尺寸 | – |
雷切深度 | – |
胶环尺寸 | – |
膜料尺寸 | – |
机台特性
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