德 Iplas 微波等离子化学气相沉积

详细介绍

德国 IPLAS 微波等离子化学气相沉积技术（MPCVD)， 通过等离子增加前驱体的反应速率，降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。

MPCVD是世界公认的制备大尺寸单晶金刚石有效手段之一。德国iplas公司**的 CYRANNUS® 等离子技术解决了传统等离子技术的局限，可以在10mbar到室压范围内激发高稳定度的等离子团，**限度的减少了因气流、气压、气体成分、电压等因素波动引起的等离子体状态的变化，从而确保单晶生长的持续性，为合成大尺寸单晶金刚石提供有力保证。

化学机理概要：

碳氢化合物：提供沉积材料

氢气：生成sp3键

氧：对石墨相/sp2键侵蚀

惰性气体：缓冲气体，或生成纳米晶体。

适用合成材料：

大尺寸宝石级单晶钻石

高取向度金刚石晶体

纳米结晶金刚石

碳纳米管/类金刚石碳（DLC）

多种等离子发生器选择：

频率：2.45GHz， 915MHz:

功率：1-2kW， 1-3kW， 3-6kW，1-6kW，5-30kW

等离子团直径：70mm， 145mm， 250mm， 400mm

工作其他范围：0-1000mBar

其他应用：

MPCVD同样适用于平面基体，或曲面颗粒的其它硬质材料如Al2O3，c-BN的薄膜沉积和晶体合成。德国iplas公司凭借几十年在等离子技术领域的积累，可以为用户提供高度定制的设备，满足用户不同的应用需要。