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URE-2000S/B 型紫外双面光刻机
技术参数
。曝光面积:4 英寸
。曝光波长:365nm: 25mW/cm,405nm:20-40mW/cm2
。分辨力:1μm
。对准精度: ± 2μm(双面,片厚 0.8mm) ± 0.8μm(单面)
。掩模尺寸: 3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸,厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式:定时和定剂量
。调平接触压力通过传感器保证重复
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口,也具备接近模块接口
。正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
。底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像,物镜轴距范围 10mm-148mm
。照明不均匀性: 2.5%( Ф100mm 范围)
。掩模相对于样片运动行程:
X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6 度
。胶厚:600 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
。光源平行性:2°
。具有循环水冷却系统
。汞灯功率:1000W(直流,进口)
外形尺寸:1400mm(长)x1200mm(宽) x2000mm(高)
配置
(1)曝光头
。冷光椭球镜
。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型);
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,自动完成
。样片调焦机构
。承片台 3 个 (3 英寸、4 英寸,5 英寸)
。掩模夹 3 个 (2 英寸、3 英寸、4 英寸)
。掩模抽拉式上下机构
(3)对准显微镜(可以选择带 CCD 型,目镜和监视器可同时观测)
。光源(配备品 2 只)、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)11
。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
。CCD 光学系统
(4)底面 CCD 对准系统
。光源(配备品 2 只)、 电源
。成像光学系统(2 套)
。双通道数据采集卡
。CCD(两套)
(5)电控系统
。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桌
。计算机系统(监视器配 21 英寸宽屏液晶)
(6)气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
(7)其他附件
。无油静音真空泵一台
。无油静音空压机一台
。恒温循环水冷却系统
。管道
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