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URE-2000S/B型紫外双面光刻机
URE-2000S/B型紫外双面光刻机的图片
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暂无
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四川
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产品简介

URE-2000S/B 型紫外双面光刻机

技术参数

。曝光面积:4 英寸

。曝光波长:365nm: 25mW/cm,405nm:20-40mW/cm2

。分辨力:1μm

。对准精度: ± 2μm(双面,片厚 0.8mm) ± 0.8μm(单面)

。掩模尺寸: 3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸,厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式:定时和定剂量

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口,也具备接近模块接口

。正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍

物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍

。底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像,物镜轴距范围 10mm-148mm

。照明不均匀性: 2.5%( Ф100mm 范围)

。掩模相对于样片运动行程:

X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6 度

。胶厚:600 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)

。光源平行性:2°

。具有循环水冷却系统

。汞灯功率:1000W(直流,进口)

外形尺寸:1400mm(长)x1200mm(宽) x2000mm(高)

配置

(1)曝光头

。冷光椭球镜

。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型);

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

(2)对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构

。承片台 3 个 (3 英寸、4 英寸,5 英寸)

。掩模夹 3 个 (2 英寸、3 英寸、4 英寸)

。掩模抽拉式上下机构

(3)对准显微镜(可以选择带 CCD 型,目镜和监视器可同时观测)

。光源(配备品 2 只)、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)11

。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)

。CCD 光学系统

(4)底面 CCD 对准系统

。光源(配备品 2 只)、 电源

。成像光学系统(2 套)

。双通道数据采集卡

。CCD(两套)

(5)电控系统

。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统(监视器配 21 英寸宽屏液晶)

(6)气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

(7)其他附件

。无油静音真空泵一台

。无油静音空压机一台

。恒温循环水冷却系统

。管道

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