OAI UV Led光源_报价-深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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产品分类

半导体行业专用仪器

OAI Model 212紫外光刻机 OAI Model 800E紫外光刻机 OAI掩膜光刻机Model 6000 Model 6020S紫外光刻机 URE-2000/35A型紫外单面光刻机 URE-2000B型紫外单面光刻机 ZEP520A电子束光刻胶 AZ 1500系列i线光刻胶德国ALLRESIST导电胶AR-PC5090和AR-PC5091 英国EM SML Resist电子束光刻胶

光学仪器及设备

其他

制样/消解设备

分子生物学仪器

清洗/消毒设备

光谱检测分析仪

比表面积测定仪

色谱仪

X射线仪器

临床检验仪器设备

无损检测/无损探伤仪器

生物工程设备

微生物检测仪器

质谱检测分析仪

磁学测量仪器

激光粒度仪

波谱仪器

细胞生物学仪器

气体检测仪

成像系统

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产品简介

OAI UV Led 光源-对准和均匀，适用于高要求的光刻应用。

BENEFIT 好处

Low Cost 低成本

Long Life 寿命长

Energy Efficient 高效率能源

Low Power Usage 低功率使用

No maintenance costs or lamp changes 没有维护费用或更换灯管

No Mercury. 没有汞

OPTIONS 选项

Free standing or can be integrated into any OAI 独立或可集成到任何OAI

lithography system 光刻系统

Variety of tooling modules available 可提供多种模具模块

Height adjustable LS stand available 高度可调的LS站

Single or multiple wavelength 单波长或多波长

FEATURES 特性

Beam size 4” to 12” sg. 尺寸为4 "到12 " sg

Wave length 365um， 405um or dual wave length 波长365um， 405um或双波长

Dual Wave Length Tuning available 可进行双波长调协

Beam uniformity better than +/- 4% 光束均匀性优于+/- 4%

Beam intensity up to ~25mW/cm2 光束强度可达~25mW/cm2

Easy to use touch screen interface 易于使用的触摸屏界面

Collimation angle <= 2 degrees 准直角< <= 2度

Dose control and timed exposure 剂量控制和定时曝光

USB remote interface for PC control USB远程接口的PC控制

Long working 长时间的工作

Tooling Module

Using UV Led Light

Source: 0.5um

Lines and Space

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