URE-2000/A12 紫外单面光刻机

1、设备主要技术指标：

(1) 曝光面积： 300mm×300mm；

（2）分辨力：±2μm；

（3）对准精度：±2μm；

（4）掩模尺寸： 7 英寸、9 英寸、13 英寸；

（5）样片尺寸： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；

（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；

（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；

（8）掩模相对于样片运动行程：X:±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°；

（9）汞灯功率：1000W（直流）；

（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm 2 ；

（11）曝光峰值波长:365nm；

（12）光源平行度：＜2°；

（13）曝光方式：定时（计时方式 0.1s—9999.9s）；

（14）光刻版夹具兼容性

2．技术主要组成部分

（1）曝光头系统包括:

。冷光椭球镜；

。 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；

。 XYZ 汞灯调节台；

。 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；

。 冷却风扇。

（2）对准工件台系统包括:

。 掩模样片相对运动台；

。（XY），转动台；

。 样片调平机构；

。 样片调焦机构；

。承片台 3 个： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；

。 掩模夹 3 个： 7 英寸、9 英寸、13 英寸。

（3）CCD 对准显微镜系统包括:

。4 倍显微镜 2 只；

。照明光源 2 套；

。 CCD 相机 2 只；

。22 英寸液晶显示器。

（5）电控系统：

。 汞灯触发电源(1000W)；

。 单片机控制系统；

。控制柜桌。

（6）气动系统系统包括:

。 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等

（7）其他配置与附件

。真空泵一台；

。空压机一台；

。配套气管 10m；