认证信息
高级会员 第 2 年
名 称：深圳市蓝星宇电子科技有限公司认 证：工商信息已核实
访问量：228585
手机网站
扫一扫，手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介
日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000
特点：
。采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件
。可处理较厚或较大的样品(选配件)
。记忆功能可存储常用加工条件
规格：
| 项目 | 说明 | |
|---|---|---|
| 放电： | 类型： | 磁控二极管放电型(电场垂直于磁场) |
| 电极组成： | 反向平行盘(嵌入磁铁) | |
| 电压： | ** 0.4 kV DC(直流可变) | |
| 电流： | ** 40 mA DC | |
| 喷镀速率 *1(**)： [条件]： 压力：7 Pa 放电电流：40 mA 标靶与样品表面之间的距离：20 mm | Pt 靶(选配件)： | 15 nm/min |
| Pt-Pd 靶(选配件)： | 20 nm/min | |
| Au 靶(选配件)： | 35 nm/min | |
| Au-Pd 靶(选配件)： | 25 nm/min | |
| 样品尺寸： | **直径： | φ60 mm |
| **高度： | 20 mm | |
| 机械泵： | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
| 靶材*2： | Pt ， Pt-Pd (8:2) ， Au ， Au-Pd (6:4) | |
| 电源要求： | 单相， 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz)， 3-针插头线缆(3 m) | |
| 尺寸： | 宽度： | 450 mm |
| 长度： | 391 mm | |
| 高度： | 390 mm | |
| 重量： | 主机：约 25 kg 机械泵：约 28 kg | |
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类
- 芬兰PICOSUN标准型原子层沉积机R-200
- PICOSUN P-200S Pro ALD生产型原子层沉积机
- 芬兰PICOSUN标准型原子层沉积机R-200
- 德国Moeller光学动/静态接触角仪/界面测量仪SL150
- 日本JEOL能谱仪JED-2300T
- 日本JEOL能谱仪，JED-2300，JED-2300F
- 德国Sentech台式薄膜探针反射仪FTPadv
- N-TEC全自动片机晶圆贴BW 243FA
- N-TEC全自动LED晶圆贴标解胶机BW 227-7FA
- 日本JEOL粉末装置TP-99010FDR
- 日本JEOL热场发射扫描电子显微镜JSM-7200F
- 德国Sentech集成多腔等离子刻蚀和沉积机
- 日本JEOL电子自旋共振谱仪JES-X3
- 德Neaspec真空太赫兹近场光学显微镜HV-THz-neaSNOM
- N-TEC全自动真空压合机BW228-4FA
- 德国laVision BioTec光片照明显微镜Ultramicroscop