日本JEOL场发射电子显微镜JEM-3200FS_报价-深圳市蓝星宇电子科技有限公司

物镜极靴^*1	超高分辨UHR	高分辨率HR	高倾斜HT	高衬度HC
分辨率
点分辨率晶格分辨率	0.17nm 0.1nm	0.19nm 0.1nm	0.21nm 0.1nm	0.26nm 0.14nm
能量分辨率	0.9 eV（零损失FWHM）
加速电压	300kV，200kV，100kV^*2
*小步长　能量位移	100V **3，000V (以0.2V为步长)
电子枪
发射体	ZrO/W(100) 肖特基式
亮度	≧7×10⁸ A/cm² ? sr
真空度	3×10^-8Pa
探针电流	探针直径为1nm时，电流在0.5nA以上
稳定度
加速电压	2×10^-6/min
物镜电流	1×10^-6/min
过滤器透镜电流	1×10^-6/min
物镜
焦距	2.7 mm	3.0 mm	3.5 mm	3.9 mm
球差系数	0.6 mm	1.1 mm	1.4 mm	3.2 mm
色差系数	1.5 mm	1.8 mm	2.2 mm	3.0 mm
*小焦距步长	1.0 nm	1.4 nm	1.5 nm	4.1 nm
束斑尺寸
TEM 模式	2 ～ 5 nmφ		2 ～ 5 nmφ	7 ～ 30 nmφ
EDS 模式	0.4 ～ 1.6 nmφ		0.5 ～ 2.4 nmφ	4 ～ 20 nmφ
NBD 模式	0.4 ～ 1.6 nmφ		0.5 ～ 2.4 nmφ	-
CBD 模式	0.4 ～ 1.6 nmφ		0.5 ～ 2.4 nmφ	-
电子束衍射
衍射角(2α)	1.5 t～ 20 mrad			-
取出角	±10 °			-
倍率
MAG 模式	×2，500 ～ 1，500，000		×2，000 ～ 1，200，000	×1，500 ～ 1，200，000
LOW MAG 模式	×100 ～ 3，000
SA MAG 模式	×8，000 ～ 600，000		×6，000 ～ 500，000	×5，000 ～ 500，000
视野	10eV时狭缝宽度60mm(底片上) 2eV时狭缝宽度25mm(底片上)
相机长度
选区电子衍射	200 ～ 2，000 mm		250 ～ 2，500 mm	400 ～ 3，000 mm
EELS 散射
能量选择　在能量选择狭缝上	0.85 μm/eV ， 300 kV
底片上	100 ～ 220 μm/eV ， 300kV
样品室
样品移动范围 (XY/Z)	2mm/0.2mm	2mm/0.4mm	2mm/0.4mm	2mm/0.4mm
样品倾斜角 (X/Y)	±25°/±25°^*3	±35°/±30°^*3	±42°/±30°^*3	±38°/±30°^*3
*EDS^4**
固体角	0.13 sr			0.09 sr
取出角	25°			20°

产品特点：

· JEM-3200FS场发射电子显微镜配备了**加速电压为300kV的场发射电子枪（FEG）和镜筒内置式Ω型能量过滤器，能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案。

· 镜筒内置式Ω型能量过滤器(omega 过滤器)

· 镜筒内置式Ω型能量过滤器内置于成像透镜系统，能容易地获得能量过滤像和能量损失谱，同时还能获得与传统电子显微镜同等的放大倍率范围。此外、Ω型过滤器的电子光学系统在设计上**程度地减少了图像畸变，出厂前还将剩余一点的畸变做了*后的修正。JEM-3200FS还采用了高灵敏度的相机系统及图像处理系统（选配件），可以构建元素面分布系统及能量损失谱系统。

· 新型控制系统

· 电子枪、电子光学系统、测角台、抽真空系统等电子显微镜基本功能的系统化，实现了高稳定、高性能的控制系统。图像画面和用户界面采用Windows ®*1，可以进行编程操作和附件的集中控制。

· 新型测角台

· 系统化的新型测角台内置压电陶瓷驱动机构，使高倍率下的样品移动更加精确。*2.

· *1 : 注意事项：Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标。

*2 : 仅有压电元件包括在基本单元中，压电元件的电源为选配件。

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