海德堡Heidelberg 高级大型2D，3D直写光刻机DWL 8000

大面积瞄写系统：DWL 8000

搭配海德堡的精密软件控制可以让您在大面积范围中，也可以瞄写2维和3维图形的DWL 8000系列，是针对微光学领域的2维和3维的微构造形式所制作。

对于激光图形生成器，MEMS，Displays 和sensors 都有加宽，加高的设计。DWL 8000精确的温度控制，动态的焦点追踪，closed loop位置决定，确保**布置和完全覆盖性的直写范围。

DWL 8000多年的经验累积，使Gray Scale曝光技术，可以更有效率于更小的系统上直写更大的区域范围。在使用高分辨率技术掩模板上，使用曝光强度经过调整的激光，可在连续表面上形成1个复杂的3维样式。

主要功能：

。*小描绘尺寸：0.7um

。*小直写尺寸：20nm

。5种描绘模式

。可转换成自动描绘模式

。进阶3维绘画方式

。里测/校直用照相机系统

。选择线上（Online）传送绘画数据

。自动基板加载系统

。多种多样的绘画数据输入格式（DXF，CIF，GDSLL，Gerber，STL）

。Stage Map补正

。Edge detectof unit

应用范围：

。Micro-optics

。MEMS

。Display

。Micro-sensor