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日本Nikon I线步进式光刻机NSR-I12
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日本
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日本Nikon I线步进式光刻机NSR-I12

技术指标及功能

广泛应用于生产线,是6英寸,8英寸等主力I线生产机台,适用于I线光刻胶的曝光,操作简单,曝光精度准,解析力**可达0.35UM (350NM

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