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瑞典Mycronic ****的光刻机
Prexision-800.Prexision-80.Prexision-8/10
Prexision-800, Prexision-80, Prexision-8/10
为未来显示领域的标准而生
现在我们每天都在使用的都是先进的显示技术。从数字标牌和电视机,到智能手机和平视显示器,Prexision系列光刻机在这次技术中发挥着关键作用。全世界制造商的先进平板显示器都在使用Prexision系列光刻机。这是消费者可找到的分辨率**的屏幕。
主要优势
提高分辨率 : 25%
更佳的贴片性能: 70%
更快的写入速度: 20%
Prexision-800
显示器行业显示出快速的技术发展趋势,像素点越来越小,趋向采用复式显示器技术,例如AMOLED。这种趋势需要更复杂的像素设计和更多的内部像素模式。
Prexision-800旨在支持搭配***显示器的节能产品,如:搭配4K显示屏的智能手机。Prexision-800分辨率提高了25%,这一新的分辨率标准,不仅极大改善了均匀性,并且在不影响生产效率的情况下即可实现更佳的图形拟真度,这无疑会使显示器制造商大大获益。
Prexision-80
Prexision-80是为智能手机和平板电脑显示屏,达到第8代尺寸的面板不断增长的像素密度的光掩膜需求而设计的。对于**分辨率的AMOLED和LCD,Prexision-80的光掩膜质量是****的。我们的Prexision-80全局和局部的贴片性能更高70%,将光掩膜的质量带到了新的高度。
Prexision-8/10
Prexision-8和Prexision-10是非常适合批量生产先进的TFT-LCD光掩模。Prexision-8可支持的光掩模尺寸符合第八代面板的需求,并且Prexision-10可支持第十代面板。Prexision-8/10利用双重写入模式可提高20%的写入速度,这将有助于您优化吞吐量,质量也将取决于面板尺寸。
技术指标
Prexision-800 | Prexision-80 | |||
模式 | HA | HT | HA | HT |
*小值 L/S 已解决[pitch/2] | 550 | 850 | 750 | 1000 |
关键尺寸精度[nm] | 15 | 20 | 30 | 35 |
掩膜组套合3σ[nm] | 75 | 100 | 75 | 100 |
写入速度[mm2/min] | 900 | 1200 | 900 | 1200 |
**掩膜尺寸[mm] | 1400 x 1620 | 1400 x 1620 |
Prexision-8 | Prexision-10 | |||
模式 | HA | HT | HA | HT |
*小值 L/S 已解决[pitch/2] | 750 | 1000 | 750 | 1000 |
关键尺寸精度[nm] | 70 | 85 | 70 | 85 |
掩膜组套合3σ[nm] | 90 | 120 | 90 | 120 |
写入速度[mm2/min] | 900 | 1200 | 900 | 1200 |
**掩膜尺寸[mm] | 1400 x 1620 | 1700 x 20 |
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