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海德堡Heidelberg光刻机VPG1600
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VPG1600海德堡Heidelberg 终级型大尺寸掩膜版生产工具

新型Volume High Generator(VPG)大尺寸图形发生器,是海德堡科技在大型光学系统上科技的创新与突破的里程碑。其利用****的技术“宽阔的平行化曝光制程技术”而开发出来的。

VPG是目前掩膜板大尺寸,大批量生产的可靠而又经济的解决方案,特别适用诸如:需要大量掩膜版的电子封装产业,彩色滤光片产业,以及其它特别需要大面积,而且高分辨率需求相关产业。另外,VPG还可以提供优异的影像质量与注记差异(实际掩膜板与资料的差异)。

VPG 设计有可以搭载多样化不同尺寸的承载平台,例如:1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但这些系统都安装有气浮装置,可配置半自动或者全自动的上下版装置,并且可以选择**输出功率20W的UV激光发射头。微细化的写入步距,可以确保优越的粗糙度和连接边界。平台位置自动校正技术,可以进行优异的自我校正,以达到精准的定位效果。

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