扫描电镜专用原位AFM探测系统

AFSEM™ —使AFM和SEM合二为一

奥地利GETec公司发布的扫描电镜专用原位AFM探测系统——AFSEM是一款紧凑型，适用于真空环境的AFM产品，能够轻松地结合两种强大的分析技术—AFM和SEM为一体，扩展SEM样品成像和分析能力。AFSEM技术与SEM技术的**结合，使得人们对微观世界和纳米世界新探索新发现成为可能。

扫描电子显微镜中进行原位AFM分析

扫描电镜专用原位AFM探测系统实现了AFM和SEM的功能性互补，让SEM可以同时实现样品的高分辨率成像，真实的三维形貌，精确的高度，距离测量，甚至是材料的导电性能。做到这一点只需要将AFSEM悬臂探针的位置移动到SEM下需要观察的样品位置进行探测。优化的AFSEM工作流程(几乎没有减少SEM的扫描时间)确保了高效率。提供的强大控制软件则允许进行优化和直观的测量、系统处理和数据分析。

将AFSEM集成到一个Zeiss Leo 982扫描电子显微镜中(左)，对样品表面进行扫描成像(右)，对样品表面进行扫描。当在AFM和SEM成像之间交替时，不需要转移样品或打破真空。使用AFSEM，一切都可以进行内联！

SEM-AFM协同分析

对于产品或材料分析，通常需要用多种技术分析一个样品或者同一个器件，并寻找参数之间的相关性。如果样品需要使用SEM和AFM这两种的成像技术，就意味着我们需要找到感兴趣的区域并定位它，再拿到另一个设备中寻找这个感兴趣的区域，才能实现对同样的区域进行分析。有什么能比直接把AFM放在SEM里面来的简单呢？

扫描电镜图像(A)、放大的图像(B)和相关的AFM成像(C)，测量结果来自FEI Quanta 600 FEG ESEM。

AFSEM可与大多数SEM兼容

AFSEM适用于大多数SEM或双光束(SEM/FIB)系统。可以直接安装在系统腔室的仓门上，同时样品台保持不变。此外，AFSEM采用一种自感应悬臂探针，无需激光与传感器。AFSEM在电镜中，夹持探针的悬臂梁只需要极靴与样品之间4.5毫米的空间。因此，AFSEM可以与各种标准的SEM兼容，GETec公司能够处理任何兼容SEM系统真空腔内的安装。也正是这种优雅小巧的设计使得扫描电子显微镜能够配合AFM技术实现的亚纳米级的形貌探测。

成功的AFSEM集成的例子(可参见集成SEM列表)

AFSEM与SEM分析技术紧密配合

由于AFSEM小巧的设计维护了SEM功能的完整性，可以实现与其他标准的扫描电镜分析技术相结合同时使用，如常规FIB、FEBID和EDX，以及SEM中可搭配的拉伸机，应力测试，机械手等等

AFSEM应用案例举例

AFSEM与Deben 200N拉伸试验台可以同时集成在Philips XL40 SEM实现试样拉伸形变过程的原位观察和形貌探测。这是一个创新的实验解决方案，用来研究拉力作用下金属试样的拉伸形变和颈缩过程中，样品表面形貌和粗糙度的变化。

此外AFSEM™和Hysitron PI85硬度测试台结合，一同安装在蔡司Leo 982 SEM中，电镜下我们可以实时观察金属表面在硬度计压头尖端的压力下，表面形变，滑移过程。其形变，滑移的形貌变化可以由AFM完成。

从AFM的角度来看，自感应悬臂探针可以实现多种探测模式，包括静态成像、动态成像、相对比、力谱、力调制和导电模式AFM。例如，在飞利浦XL40仪器中，利用扫描电镜成像、EDX的化学分析、AFM的3D形貌和电导分析。

AFSEM采用的自感应探针（self-sensing cantilevers）

奥地利SCL-Sensor.Tech公司主要生产硅基压阻式自感应探针，避免了常规AFM需要光路进行探测的模式，拓宽AFM在纳米探测、力测量和其他场合的应用。

自检测悬臂配备全压阻电桥直接测量悬臂信号电，从而消除常规原子力显微镜光学信号探测对仪器空间的要求。两个可变电阻分别位于微悬臂和芯片上。整个结构连接到一个小的PCB板上，可实现快速和高重复性的探针交换。感应到的信号通过一个前置放大电路读出和放大。这使得与各种仪器，如SEM，TEM和许多其他测量系统，可以轻松无缝地集成。自感应探针具有各种谐振频率和弹簧常数。

我们可为您提供PRS（压阻传感）悬臂探针和PRSA（压阻传感与主动）悬臂探针。